【超實用】半導體乾蝕刻技術教你怎麼省荷包!


 





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商品訊息描述: 禮物日本生產工程權威獎項得主力作,圖解與表格詳實,帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌,提升現場即戰力。

發燒好康◎作者於1989年,以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年,以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務,讓你一讀即懂。
限時產品◎由製程直到設備、新技術,更進一步設置有關電漿損傷的章節,以便理解全貌並了解乾蝕刻今後的課題與展望。


針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象,循序解析,詳解各環節的連帶影響,提升現場即時應變的作戰能力,為優秀工程師養成必備的工具書!

非等向性蝕刻是如何實現?為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr,而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體?為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP(電感耦合式電漿)之類的高密度電漿,而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機?
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商品訊息簡述:

  • 譯者: 倪志榮
  • 出版社:白象文化   
    新功能介紹
  • 出版日期:2015/03/01
  • 語言:繁體中文


 


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下面附上一則新聞讓大家了解時事



股王領跌台股收漲5.85點 三大法人賣超57.79億 | 股市要聞 | 股市 | 聯合新聞網
台股示意圖。聯合報系資料照 分享 facebook 台股今(27)日開高後呈現震盪整理走勢,股王大立光(3008)領跌,華為概念股續弱,台積電由紅翻黑,拖累大盤指數翻黑,回測10,300點關卡,終場以10,334.13點作收,上漲5.85點,成交量918.84億元;三大法人賣超57.79億元,外資持續賣超,統計已連續賣超14天,合計賣超1,270.84億元。統計三大法人買賣超情況,外資及陸資(不含外資自營商)賣超46.82億元,投信賣超2.11億元,自營商賣超(合計)8.85億元,其中自營商(自行買賣)賣超6.25億元,自營商(避險)賣超2.6億元。. } }); } 台股今日以10,344.18點上漲開暢銷排行網友開箱介紹出,一度拉升到10,365.44點,以金融股及傳產股撐盤,股王大立光走弱,終場收3,690元,跌幅2.25%,台積電由紅翻黑,終場收231元,跌幅0.86%,鴻海則以平盤71.4元作收,指數一度下滑至10,305.28點,搶購限時商品終場收抗漲特價商品小紅,漲幅0.06%,收在10,限量不等人的超人氣產品334.13點。


 批評日皇想毀了神社!靖國神社宮司發言極度不當 請辭


「天皇想毀了靖國神社」! 日本「週刊郵報」(Shukan Post)在最新一期雜誌報導,68歲的靖國神社宮司小堀邦夫6月在閉門會議批評日皇。日本靖國神社今天表示,神社宮司(最高級神官)小堀邦夫「發言極度不當」,將辭去宮司職務。

靖國神社供奉250萬名陣亡將士,也奉祀第二次世界大戰期間的幾大戰犯,一直是日本和曾受日本戰時暴行所苦的亞洲鄰國爭議核心。日本首相安倍晉三等高官曾參拜靖國神社,但日皇明仁1989年登基後從未造訪,靖國神社1970年代中期供奉戰犯之後,明仁的父皇裕仁也未再前往參拜。

「週刊郵報」(Shukan Post)在最新一期雜誌報導,小堀邦夫6月在靖國神社內部閉門會議表示「天皇想毀了靖國神社」,並指明仁天皇將在明年遜位,在位期間不斷暗示和平觀點,和其父皇統治期間日本追求擴張的態度大相逕庭。明仁多次造訪太平洋諸島的二戰戰場,為在當地陣亡的將士祈禱。

根據報導,小堀邦夫在閉門會議表示,皇太子德仁親王和雅子妃當上皇帝和皇后後,可能不會造訪靖國神社。小堀還說,未來的皇后雅子「討厭」日本傳統的神道教。

法新社今天取得的靖國神社聲明指出,小堀邦夫「在會議中發表極度不當的言詞…遭披露」之後,將辭去宮司一職。

靖國神社還說,小堀邦夫前往宮內廳對此事道歉,並表達辭職意向。本月稍晚將開會決定繼任者。

靖國神社發言人婉拒證實週刊內容,但坦承小堀邦夫辭職確實和週刊報導有關。







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